產品概述：
該系統是 一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現物料的快速加熱和冷卻。
技術參數：
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產品名稱 |
1200℃雙管CVD系統 |
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第一部分： 1200℃雙管CVD系統 |
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產品型號 |
PT-1200T |
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爐管尺寸 |
雙石英管 外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm |
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加熱區 |
220+220mm |
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供電電源 |
230V，單相，50HZ |
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功率 |
4.0 kw |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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升溫速率 |
0-20°C/min |
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熱電偶 |
K型 |
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第二部分： 水冷系統 |
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法蘭 |
1.水冷機 CW-3000 2.水冷，密封雙管的真空法蘭：允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發生反應，冷卻氣體直接通入內管. |
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第三部分 真空系統 |
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真空系統 |
1. 防腐數顯真空計 2. VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口，波紋管和箱體 |
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第四部分 混氣系統 |
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質量流量計 量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm ....... |
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